• 三軸導軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩，導軌不易磨損。
　　• 各運動軸均采用直流伺服驅動，確保運動的平穩和準確。
　　• 三軸均采用高精度增量式金屬光柵尺。
　　• Y軸采用整體燕尾式導軌，在降低機器重量的同時，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度和穩定性。
　　• 采用RENISHAW的控製係統，保證了機器的動態性能和測量精度。
　　• 各運動軸均采用直流伺服驅動，確保運動的平穩和準確。
　　• X向采用精密三角梁技術，相比矩形梁和橫梁，重心更低，質量剛性比更佳，運動更加可靠。
　　• 軟件為Serein Dmis，經濟易學實用。